在無(wú)塵車間中怎樣使用粒子計(jì)數(shù)器來(lái)檢測(cè)?
粒子計(jì)數(shù)器通常分為激光顆粒計(jì)數(shù)器或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器。He2Ne激光粒子計(jì)數(shù)器,可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質(zhì);Ar2Kr激光粒子計(jì)數(shù)器可分析0105μm粒徑顆粒雜質(zhì),目前已有可檢測(cè)超高純氣中01005μm的粒子計(jì)數(shù)器。
用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)定空氣中粒子的統(tǒng)計(jì)濃度。由于在無(wú)塵車間中采用的是高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器,故不得將高濃度檢驗(yàn)用粒子送入凈化車間進(jìn)風(fēng)口。氣溶膠發(fā)生器由壓縮機(jī),氣流調(diào)節(jié)閥,HEPA過濾器,小玻管和拉斯金噴霧器組成,將DF.HS或其它物質(zhì)噴成霧狀作為檢驗(yàn)用氣溶膠。發(fā)生器的中心部件是拉斯金噴霧器,在其出口處的氣流含有檢驗(yàn)用氣溶膠粒子,粒子的粒徑具有多分散性分布,DEHS氣溶膠的平均粒徑約為0.2微米,氣溶膠的“壽命”起著重要的作用:粒徑為0.3微米的水滴,其壽命小于1秒,而DEHS -約4小時(shí)。
在與發(fā)生器產(chǎn)生的檢驗(yàn)用氣溶膠混合前,空氣的污染濃度應(yīng)比發(fā)生器送出粒子濃度小I%。并在檢驗(yàn)ULPA過濾器時(shí)建議采用先經(jīng)HEPA過濾器處理的空氣,建議空氣灼濕度應(yīng)保持在30%-70%的范圍內(nèi)。
稀釋器具有兩條通路,在l條通路內(nèi)裝有HEPA過濾器,而另一條通路則是細(xì)的(毛細(xì)管式)的旁通通路,在旁通通路內(nèi)沒有過濾器。稀釋系數(shù)取決于兩股氣流之比:通過HFPA過濾器(潔凈空氣)和通過旁通遒道,在旁通通道中的是定量的,含有檢驗(yàn)用氣溶膠的空氣。
粒子計(jì)數(shù)器是測(cè)試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器,由顯微鏡發(fā)展而來(lái),經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計(jì)數(shù)器、激光空氣粒子計(jì)數(shù)器、凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器、多通道多功能粒子計(jì)數(shù)器等過程,目前 廣泛應(yīng)用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等權(quán)威機(jī)構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗(yàn)所等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。
